半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備工作原理

　　1、水進(jìn)入純化系統(tǒng)，主要部分流入樹脂/膜內(nèi)部，而另一部分沿模板外側(cè)流動(dòng)，以洗去透出膜外的離子。

　　2、樹脂截留水中的溶存離子。

　　3、被截留的離子在電極作用下，陰離子向正極方向運(yùn)動(dòng)，陽(yáng)離子向負(fù)極方向運(yùn)動(dòng)。

　　4、陽(yáng)離子透過(guò)陽(yáng)離子膜，排出樹脂/膜之外。

　　5、陰離子透過(guò)陰離子膜，排出樹脂/膜之外。

　　6、濃縮了的離子從廢水流路中排出。

　　7、去離子水從樹脂/膜內(nèi)流出。

半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備制備工藝

　　1、預(yù)處理-反滲透-水箱-陽(yáng)床-陰床-混合床-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-精密過(guò)濾器-用水對(duì)象

　　2、預(yù)處理-一級(jí)反滲透-加藥機(jī)(PH調(diào)節(jié))-中間水箱-第二級(jí)反滲透-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過(guò)濾器-用水對(duì)象

　　3、預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過(guò)濾器-用水對(duì)象

　　4、預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制拋光混床-TOC分解器-0.2或0.5μm精密過(guò)濾器-用水對(duì)象。

　　超純水設(shè)備的使用范圍非常廣泛，可以應(yīng)用在化工、電子、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室、電鍍等各種行業(yè)中。